1、潔凈室靜電庫(kù)侖力

　　在靜電庫(kù)侖力的作用下,，吸附的粉塵,、污物造成元器件增大泄漏或形成短路，使性能受損，成品率和可靠性大大下降,。如粉塵粒徑>100μm,，鋁線寬度約100μm，氧化膜厚度在50μm時(shí),，最易使產(chǎn)品報(bào)廢?，F(xiàn)在線徑更細(xì)，氧化膜很薄,，粒徑很小的塵粒子就會(huì)損害元器件,，這種情形多發(fā)生在腐蝕清洗、光刻,、點(diǎn)焊和封裝等工藝過(guò)程中,。

　　2、靜電放電ESD

　　(1)元器件的絕緣氧化膜被擊穿,，引線被燒斷或線間熔斷,。若人體帶上10KV(100PF)的靜電荷，觸摸器件腳時(shí)發(fā)生ESD,，其向大地瞬間形成脈沖放電電流峰值可達(dá)20A(10——100s),，不要說(shuō)高密度，細(xì)線徑,，薄SiO2膜的Lsi,、Vlsi，就是一般IC,、MOS都會(huì)遭受損壞,。

　　一般說(shuō)器件絕緣柵SiO2薄膜的耐壓場(chǎng)強(qiáng)是E=(5-10)×106V/cm，如果器件SiO2膜厚度取1000,，其器件輸入腳施加50V-100V以上的靜電壓就將會(huì)被擊穿,，而人體帶靜電超過(guò)50V、100V是極平常的,。

　　(2)造成噪聲,、發(fā)射電磁波干擾

　　ESD引起EMI其電磁波的前后峰較尖，信號(hào)強(qiáng),，相當(dāng)于電路中幾伏的能量,，頻率跨越幾MH2甚幾百M(fèi)H2的強(qiáng)大噪聲，可能引起元器件損壞,，設(shè)備和傳感器不正常工作,，甚至引起設(shè)備死機(jī)。

　　ESD引起的EMI還會(huì)引發(fā)錯(cuò)誤信號(hào)的輸入,，或發(fā)生鎖存現(xiàn)象,。如無(wú)塵室中，將晶圓片的EMIF箱放在鋼的手推車上,，晶圓片的ESD會(huì)通過(guò)電感傳給手推車,，車輪是絕緣的，則EMI的擴(kuò)散會(huì)引起晶圓片處理機(jī)死機(jī),。

　　(3)電擊人體

　　潔凈室人體的ESD或?qū)θ梭w的ESD當(dāng)超過(guò)人體電擊極限電流5mA以上時(shí),，人都會(huì)有各種傷害感覺，造成工作人員的情緒不安,，操作錯(cuò)誤,。

　　半導(dǎo)體，平面顯示器,，光電子等潔凈室,，盡管做了很多工作，但潔凈室的靜電問題仍然影響著生產(chǎn)安全和產(chǎn)品產(chǎn)量,，影響著制造成本和效益,，影響產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。據(jù)國(guó)外工業(yè)專家估計(jì),，美國(guó)每年由于靜電造成產(chǎn)品的損失平均在8-33%,，還有人估計(jì)美國(guó)每年靜電對(duì)電子工業(yè)毀損價(jià)值達(dá)100億美元;日本80年代曾對(duì)報(bào)廢的電子產(chǎn)品進(jìn)行分析，由ESD引起的損失占1/3,。我國(guó)半導(dǎo)體,、平面液晶顯示、光電子等都起步較晚,，但靜電危害也時(shí)有發(fā)生,，成品率較低。而銀行,、證券公司,、機(jī)要數(shù)據(jù)庫(kù)、監(jiān)控中心,，電力調(diào)度室等等,，若出現(xiàn)ESD就很容易引起干擾，數(shù)據(jù)遺失,，情形就更嚴(yán)重了