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　　潔凈室內(nèi)之污染路來源，經(jīng)測(cè)試分析結(jié)果,，作業(yè)人員占約80%,。實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)顯示，作業(yè)人員進(jìn)出潔凈室時(shí)塵埃有顯著增加,，有人動(dòng)作時(shí),，潔凈度馬上劣化，可見潔凈度劣化之原因人是主要因素,。

　　潔凈室的污染源可分為外污染及內(nèi)污染源,。外污染源主要包括空調(diào)送風(fēng)、間隙滲入,、建筑物,、工作服、風(fēng)管材料以及一般性氣體如N2,、O2,、Air,、給水,、溶劑等；而內(nèi)污染源則包括制程設(shè)備,、工作人員,、工具、加工制程,、隔間材料,、工作桌、包裝材料等,。

　　對(duì)硅芯片而言,，微塵粒子之附著將造成集成電路線路的變形或短路，使芯片失去運(yùn)作功能,，因此微污染源的控制已成為潔凈室管理的重要環(huán)節(jié),。微污染控制，其基本原則有四：

　　1,、外部塵埃侵入之防止

　　潔凈室適當(dāng)之正壓保持（>0.5mmAq）,，做好施工工程之不漏氣，人員設(shè)備,、原材料搬入潔凈室前先做好清潔擦拭等防塵動(dòng)作,，空氣過濾器適當(dāng)?shù)墓芾砗驮O(shè)置。

　　2,、室內(nèi)發(fā)塵之防止

　　隔間板,、地板等潔凈室材料的適當(dāng)選用,、制程設(shè)備的發(fā)塵抑制、生產(chǎn)自動(dòng)化及人員不聚集,、動(dòng)作放松,、潔凈衣的管理、使用潔凈室專用器等,。

　　3,、室內(nèi)發(fā)塵之不積留

　　墻壁體應(yīng)光滑無死角、潔凈室需定期保養(yǎng)和清掃,、制程設(shè)備四周應(yīng)留有空間,。

　　4、發(fā)生塵埃之排除

　　換氣次數(shù)應(yīng)足夠,，適當(dāng)?shù)目臻g布置以及污染源接排氣和空調(diào)的氣流速度須適當(dāng),。人、物入室的管理問題,、實(shí)際的作業(yè)條件和工程管理關(guān)聯(lián)之問題,、室內(nèi)之空調(diào)及清掃關(guān)系之問題。