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模塊一: 潔凈室基礎(chǔ)知識
潔凈室的定義
潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣,、細菌等之污染物排除,，并將室內(nèi)之溫度,、潔凈度,、室內(nèi)壓力,、氣流速度與氣流分布,、噪音振動及照明,、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計之房間,。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性,。
潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為潔凈室,。按照慣例,，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,，而是控制在一個非常微量的單位上,。當(dāng)然這個標(biāo)準中符合灰塵標(biāo)準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學(xué)構(gòu)造而言,，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響,，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求,。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達到了無塵標(biāo)準的A級,。芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準對于灰塵的要求高于A級,，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。0.5uM及以下的微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi),，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別,。
潔凈室的使用
空態(tài)：已經(jīng)建造完成并可以投入使用的潔凈室（設(shè)施）。它具備所有有關(guān)的服務(wù)和功能,。但是,，在設(shè)施內(nèi)沒有操作人員操作的設(shè)備。
靜態(tài)：各種功能完備,、設(shè)定安裝妥當(dāng),，可以按照設(shè)定使用或正在使用的潔凈室（設(shè)施），但是設(shè)施內(nèi)沒有操作人員,。
動態(tài)：處于正常使用的潔凈室,，服務(wù)功能完善，有設(shè)備和人員,；如果需要,，可從事正常的工作。
模塊二：潔凈室設(shè)計
（一）潔凈室設(shè)計前的準備工作及應(yīng)收集的有關(guān)數(shù)據(jù)和資料
A.收集有關(guān)潔凈室建設(shè)的政策,，標(biāo)準,，規(guī)范
1、潔凈度等級的國家標(biāo)準和國際標(biāo)準ISO14644
2,、“潔凈廠房設(shè)計規(guī)范”GB50073-2001
3,、“電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范”（修訂中）
4、“制藥工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范”（修訂中）
5,、“醫(yī)院潔凈手術(shù)部建筑技術(shù)規(guī)范”GB50333-2002
6,、“實驗動物環(huán)境及設(shè)施”GB14925-2001
7、“生物安全實驗室建筑技術(shù)規(guī)范”GB50346-2004
8,、“潔凈室施工驗收規(guī)范”JGJ71-90
9,、“電子工業(yè)潔凈廠房施工及驗收規(guī)范”（制訂中）
10,、“采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計規(guī)范”GB50019-2003
11、“通風(fēng)與空調(diào)工程施工質(zhì)量驗收規(guī)范”GB50243-2002
12,、“建筑設(shè)計防火規(guī)范”(修訂中)
13,、“高層民用建筑設(shè)計防火規(guī)范”GB50045-2001等。
B.該項目的“可行性研究報告”以及上級主管部門對報告的批復(fù)意見,；該項目的“設(shè)計任務(wù)書”和建設(shè)方對該項目建造的有關(guān)要求,、意見和建議。
C.該項目建廠地區(qū)的氣象資料,、水文地質(zhì)資料和周圍大氣污染的環(huán)境狀況,。
D.潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝對凈化空調(diào)的要求和必須收集的生產(chǎn)工藝的技術(shù)條件和有關(guān)數(shù)據(jù)、資料：
1,、潔凈廠房內(nèi)的生產(chǎn)工藝設(shè)備平面布置圖和設(shè)備清單,，以及工藝對吊頂高度的要求。
2,、工藝對潔凈室內(nèi)的潔凈度,、溫度及精度、相對濕度及精度,、正壓,、振動、噪聲,、照度,、靜電、屏蔽等要求,，越具體越好,。
3、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝設(shè)備的產(chǎn)熱量,、產(chǎn)濕量,、產(chǎn)塵量。各設(shè)備的安裝功率,、效率,、熱轉(zhuǎn)化系數(shù)和同時使用系數(shù)等。
4,、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝設(shè)備的局部排風(fēng)量,、排放氣體的性質(zhì)、成份,、濃度和廢氣排放量以及廢氣治理方法,。
5、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)運行的班次、運行規(guī)律,。
E.潔凈廠房的建筑和結(jié)構(gòu)的情況和有關(guān)的數(shù)據(jù)
1,、潔凈室建筑的平面布置圖、立面圖,、剖面圖,。各房間的分割、面積,、名稱,、層高。
2,、潔凈室圍護結(jié)構(gòu)（墻,、地、頂,、門,、窗等）的建筑材料以及其熱工性能。
3,、建筑結(jié)構(gòu)狀況、結(jié)構(gòu)的承載能力,，尤其是舊建筑的改造項目結(jié)構(gòu)的安全十分重要,。
F.全廠冷源、熱源,、電源的情況及供應(yīng)
1,、冷熱源的性質(zhì)、參數(shù)和供應(yīng)量,。有無加濕用的蒸汽等,。
2、電源的性質(zhì),、參數(shù)和供應(yīng)量,。
G.地方消防、環(huán)保部門對該項目建設(shè)的要求和意見,。
H.其他相關(guān)專業(yè)（給水排水,、氣體動力、建筑結(jié)構(gòu),、強電弱電等）的要求和意見,。
I.設(shè)計時所用的設(shè)備、材料,、配件的性能,、參數(shù)和價格的資料。
（二）凈化空調(diào)系統(tǒng)的負荷計算
?。ㄈ崈羰覂艋照{(diào)系統(tǒng)的劃分
根據(jù)建筑專業(yè)提供的建筑平面圖,，工藝專業(yè)提供的工藝設(shè)備平面圖和工藝對各潔凈室的潔凈度，溫,、濕度等環(huán)境的要求,，即可進行凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分工作。
A.凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分原則
1,、潔凈度,，溫、濕度及其精度相同或相近的潔凈房間宜劃為一個凈化空調(diào)系統(tǒng),。便于潔凈度和溫,、濕度的控制。
2,、距離較近的潔凈房間宜劃為一個系統(tǒng),，可減少系統(tǒng)管道的長度和管道交叉。
3,、有條件時可將4級,、5級單向流和6級、7級,、8級非單向流組成混合流凈化空調(diào)系統(tǒng),。
4、潔凈室不宜與一般空調(diào)房間合為一個系統(tǒng),。
5,、使用規(guī)律和使用時間不相同的潔凈室不宜合為一個凈化空調(diào)系統(tǒng)。
6,、產(chǎn)塵量大,、發(fā)熱量大、有害物多,、噪聲大的房間宜單獨設(shè)計為一個系統(tǒng),。
7、混合后會產(chǎn)生劇毒,、引起火災(zāi)和爆炸的房間不應(yīng)合為一個凈化空調(diào)系統(tǒng),。
8、有劇毒和易燃易爆的甲,、乙類房間應(yīng)單獨設(shè)系統(tǒng),，而且應(yīng)為不回風(fēng)的直流系統(tǒng)。
9,、一個凈化空調(diào)系統(tǒng)不易過大,。一般情況下,，凈化送風(fēng)量不宜超過100,000m3/h，否則空氣處理設(shè)備過大,、噪聲大,、送回風(fēng)管道大、占空間和面積大,，使用也不靈活,。
10、凈化空調(diào)系統(tǒng)劃分時還應(yīng)考慮到送風(fēng)管,、回風(fēng)管,、排風(fēng)管以及水,電,氣等管線的布置，盡量作到合理,、短捷,、使用管理方便，盡量減少交叉和重疊,。
11,、凈化空調(diào)系統(tǒng)新風(fēng)的熱濕和凈化處理可集中也可分散設(shè)置。
B.工藝設(shè)備局部排風(fēng)系統(tǒng)的劃分原則
1,、工藝設(shè)備的局部排風(fēng)系統(tǒng)不宜過大,，每個排風(fēng)系統(tǒng)的排風(fēng)點數(shù)不宜過多，這樣排風(fēng)管理調(diào)節(jié)方便,，排風(fēng)效果好,。
2、一個排風(fēng)系統(tǒng)不宜跨在兩個或兩個以上的凈化空調(diào)系統(tǒng),。
3、混合后產(chǎn)生劇毒,、爆炸,、火災(zāi)、凝水,、結(jié)晶和有害物的排風(fēng)不應(yīng)合為一個排風(fēng)系統(tǒng),。
4、使用規(guī)律不同房間和設(shè)備的排風(fēng)不應(yīng)合為一個排風(fēng)系統(tǒng),。
?。ㄋ模崈羰覂艋照{(diào)系統(tǒng)送風(fēng)型式的比較選擇
（五）潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的冷,、熱源
?。崈羰覂艋照{(diào)系統(tǒng)的節(jié)能
模塊三:潔凈室裝修,潔凈室工程裝修
