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　　實驗室凈化工程的原理和作用：控制產品(如硅芯片等)所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好的環(huán)境空間中生產,、制造,。此環(huán)境空間的設計施工過程即可稱為凈化工程,。

　　實驗室凈化工程分類：

　　一、凈化工程亂流式

　　空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈工程室,，并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風,。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級,。

　　優(yōu)點：構造簡單,、系統(tǒng)建造成本低，潔凈室的擴充比較容易,，在某些特殊用途場所,，可并用無塵工作臺，提高潔凈室等級,。

　　缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,，易污染制程產品。另外若系統(tǒng)停止運轉再激活,，欲達需求之潔凈度,，往往須耗時相當長一段時間。

　　二,、凈化層流式

　　層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型,，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風,。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用,，一般其潔凈室等級為Class1~100,。其型式可分為二種：

　　(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統(tǒng)回風,，塵埃隨風向排出室外,，一般在下流側污染較嚴重。

　　優(yōu)點：構造簡單,，運轉后短時間內即可變成穩(wěn)定,。

　　缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充,。

　　(2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度,，在制程中或工作人員所產生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。

　　優(yōu)點：管理容易,，運轉開始短時間內即可達穩(wěn)定狀態(tài),，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。

　　缺點：構造費用較高,，彈性運用空間困難,，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩,。

　　三,、凈化工程復合式

　　復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣,。

　　(1)潔凈隧道：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,，可節(jié)省安裝運轉費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產品和機器維修予以隔離,，以避免機器維修時影響工作及品質,。ULSI制程大都采用此種型式。

　　潔凈隧道另有二項優(yōu)點：A.彈性擴充容易,；B.維修設備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行,。

　　(2)潔凈管道(CleanTube)：將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上,。因產品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源,。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用,。

　　(3)并裝局部潔凈室(CleanSpot)：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,，以為生產之用,；潔凈工作臺、潔凈工作棚,、潔凈風柜即屬此類,。

　　潔凈工程工作棚：為在亂流式之潔凈室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較高級之潔凈空間,，其等級為10~1000級,，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下,，四支支柱并加裝活動輪,，可為彈性運用。