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模塊一: 潔凈室基礎知識
潔凈室的定義
潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子,、有害空氣,、細菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度,、潔凈度,、室內(nèi)壓力,、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明,、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度,、溫濕度及壓力等性能之特性。
潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn),、制造，此空間我們稱之為潔凈室。按照慣例,，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定,。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上,。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響,，所以在光學構造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,，無塵是必然的要求。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,，就達到了無塵標準的A級,。芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上,。0.5uM及以下的微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi),，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
潔凈室的使用
空態(tài)：已經(jīng)建造完成并可以投入使用的潔凈室（設施）,。它具備所有有關的服務和功能,。但是，在設施內(nèi)沒有操作人員操作的設備,。
靜態(tài)：各種功能完備,、設定安裝妥當，可以按照設定使用或正在使用的潔凈室（設施）,，但是設施內(nèi)沒有操作人員,。
動態(tài)：處于正常使用的潔凈室，服務功能完善,，有設備和人員,；如果需要，可從事正常的工作,。
模塊二：潔凈室設計
（一）潔凈室設計前的準備工作及應收集的有關數(shù)據(jù)和資料
A.收集有關潔凈室建設的政策,，標準，規(guī)范
1,、潔凈度等級的國家標準和國際標準ISO14644
2,、“潔凈廠房設計規(guī)范”GB50073-2001
3、“電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范”（修訂中）
4,、“制藥工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范”（修訂中）
5,、“醫(yī)院潔凈手術部建筑技術規(guī)范”GB50333-2002
6、“實驗動物環(huán)境及設施”GB14925-2001
7,、“生物安全實驗室建筑技術規(guī)范”GB50346-2004
8,、“潔凈室施工驗收規(guī)范”JGJ71-90
9,、“電子工業(yè)潔凈廠房施工及驗收規(guī)范”（制訂中）
10、“采暖通風與空氣調(diào)節(jié)設計規(guī)范”GB50019-2003
11,、“通風與空調(diào)工程施工質(zhì)量驗收規(guī)范”GB50243-2002
12,、“建筑設計防火規(guī)范”(修訂中)
13、“高層民用建筑設計防火規(guī)范”GB50045-2001等,。
B.該項目的“可行性研究報告”以及上級主管部門對報告的批復意見；該項目的“設計任務書”和建設方對該項目建造的有關要求,、意見和建議,。
C.該項目建廠地區(qū)的氣象資料、水文地質(zhì)資料和周圍大氣污染的環(huán)境狀況,。
D.潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝對凈化空調(diào)的要求和必須收集的生產(chǎn)工藝的技術條件和有關數(shù)據(jù),、資料：
1、潔凈廠房內(nèi)的生產(chǎn)工藝設備平面布置圖和設備清單,，以及工藝對吊頂高度的要求,。
2、工藝對潔凈室內(nèi)的潔凈度,、溫度及精度,、相對濕度及精度、正壓,、振動,、噪聲、照度,、靜電,、屏蔽等要求，越具體越好,。
3,、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝設備的產(chǎn)熱量、產(chǎn)濕量,、產(chǎn)塵量,。各設備的安裝功率、效率,、熱轉(zhuǎn)化系數(shù)和同時使用系數(shù)等,。
4、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝設備的局部排風量,、排放氣體的性質(zhì),、成份、濃度和廢氣排放量以及廢氣治理方法,。
5,、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)運行的班次、運行規(guī)律。
E.潔凈廠房的建筑和結(jié)構的情況和有關的數(shù)據(jù)
1,、潔凈室建筑的平面布置圖,、立面圖、剖面圖,。各房間的分割,、面積、名稱,、層高,。
2、潔凈室圍護結(jié)構（墻,、地,、頂、門,、窗等）的建筑材料以及其熱工性能,。
3、建筑結(jié)構狀況,、結(jié)構的承載能力,，尤其是舊建筑的改造項目結(jié)構的安全十分重要。
F.全廠冷源,、熱源,、電源的情況及供應
1、冷熱源的性質(zhì),、參數(shù)和供應量,。有無加濕用的蒸汽等。
2,、電源的性質(zhì),、參數(shù)和供應量。
G.地方消防,、環(huán)保部門對該項目建設的要求和意見,。
H.其他相關專業(yè)（給水排水、氣體動力,、建筑結(jié)構,、強電弱電等）的要求和意見。
I.設計時所用的設備,、材料,、配件的性能、參數(shù)和價格的資料,。
?。ǘ﹥艋照{(diào)系統(tǒng)的負荷計算
?。ㄈ崈羰覂艋照{(diào)系統(tǒng)的劃分
根據(jù)建筑專業(yè)提供的建筑平面圖，工藝專業(yè)提供的工藝設備平面圖和工藝對各潔凈室的潔凈度,，溫,、濕度等環(huán)境的要求，即可進行凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分工作,。
A.凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分原則
1,、潔凈度，溫,、濕度及其精度相同或相近的潔凈房間宜劃為一個凈化空調(diào)系統(tǒng),。便于潔凈度和溫、濕度的控制,。
2、距離較近的潔凈房間宜劃為一個系統(tǒng),，可減少系統(tǒng)管道的長度和管道交叉,。
3、有條件時可將4級,、5級單向流和6級,、7級、8級非單向流組成混合流凈化空調(diào)系統(tǒng),。
4,、潔凈室不宜與一般空調(diào)房間合為一個系統(tǒng)。
5,、使用規(guī)律和使用時間不相同的潔凈室不宜合為一個凈化空調(diào)系統(tǒng),。
6、產(chǎn)塵量大,、發(fā)熱量大,、有害物多、噪聲大的房間宜單獨設計為一個系統(tǒng),。
7,、混合后會產(chǎn)生劇毒、引起火災和爆炸的房間不應合為一個凈化空調(diào)系統(tǒng),。
8,、有劇毒和易燃易爆的甲、乙類房間應單獨設系統(tǒng),，而且應為不回風的直流系統(tǒng),。
9、一個凈化空調(diào)系統(tǒng)不易過大,。一般情況下,，凈化送風量不宜超過100,000m3/h,，否則空氣處理設備過大、噪聲大,、送回風管道大,、占空間和面積大，使用也不靈活,。
10,、凈化空調(diào)系統(tǒng)劃分時還應考慮到送風管、回風管,、排風管以及水,電,氣等管線的布置,，盡量作到合理、短捷,、使用管理方便,，盡量減少交叉和重疊。
11,、凈化空調(diào)系統(tǒng)新風的熱濕和凈化處理可集中也可分散設置,。
B.工藝設備局部排風系統(tǒng)的劃分原則
1、工藝設備的局部排風系統(tǒng)不宜過大,，每個排風系統(tǒng)的排風點數(shù)不宜過多,，這樣排風管理調(diào)節(jié)方便，排風效果好,。
2,、一個排風系統(tǒng)不宜跨在兩個或兩個以上的凈化空調(diào)系統(tǒng)。
3,、混合后產(chǎn)生劇毒,、爆炸、火災,、凝水,、結(jié)晶和有害物的排風不應合為一個排風系統(tǒng)。
4,、使用規(guī)律不同房間和設備的排風不應合為一個排風系統(tǒng),。
（四）潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)送風型式的比較選擇
?。ㄎ澹崈羰覂艋照{(diào)系統(tǒng)的冷,、熱源
（六）潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能
模塊三:潔凈室裝修,潔凈室工程裝修
