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        模塊一: 潔凈室基礎(chǔ)知識(shí)  



       潔凈室的定義
       潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子,、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力,、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),,而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度,、溫濕度及壓力等性能之特性。

潔凈室介紹

  潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn),、制造,此空間我們稱之為潔凈室,。按照慣例,,無塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵,,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上,。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求,。
  每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,,就達(dá)到了無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí),,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上,。0.5uM及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別,。
  潔凈室的使用
  空態(tài):已經(jīng)建造完成并可以投入使用的潔凈室(設(shè)施),。它具備所有有關(guān)的服務(wù)和功能。但是,,在設(shè)施內(nèi)沒有操作人員操作的設(shè)備,。
  靜態(tài):各種功能完備、設(shè)定安裝妥當(dāng),,可以按照設(shè)定使用或正在使用的潔凈室(設(shè)施),,但是設(shè)施內(nèi)沒有操作人員。
  動(dòng)態(tài):處于正常使用的潔凈室,,服務(wù)功能完善,,有設(shè)備和人員;如果需要,,可從事正常的工作,。


模塊二:潔凈室設(shè)計(jì)


(一)潔凈室設(shè)計(jì)前的準(zhǔn)備工作及應(yīng)收集的有關(guān)數(shù)據(jù)和資料

  A.收集有關(guān)潔凈室建設(shè)的政策,,標(biāo)準(zhǔn),規(guī)范

  1,、潔凈度等級(jí)的國家標(biāo)準(zhǔn)和國際標(biāo)準(zhǔn)ISO14644

  2,、“潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”GB50073-2001

  3、“電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”(修訂中)

  4,、“制藥工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”(修訂中)

  5,、“醫(yī)院潔凈手術(shù)部建筑技術(shù)規(guī)范”GB50333-2002

  6、“實(shí)驗(yàn)動(dòng)物環(huán)境及設(shè)施”GB14925-2001

  7,、“生物安全實(shí)驗(yàn)室建筑技術(shù)規(guī)范”GB50346-2004

  8,、“潔凈室施工驗(yàn)收規(guī)范”JGJ71-90

  9、“電子工業(yè)潔凈廠房施工及驗(yàn)收規(guī)范”(制訂中)

  10,、“采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范”GB50019-2003

  11,、“通風(fēng)與空調(diào)工程施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范”GB50243-2002

  12、“建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范”(修訂中)

  13,、“高層民用建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范”GB50045-2001等,。

  B.該項(xiàng)目的“可行性研究報(bào)告”以及上級(jí)主管部門對(duì)報(bào)告的批復(fù)意見;該項(xiàng)目的“設(shè)計(jì)任務(wù)書”和建設(shè)方對(duì)該項(xiàng)目建造的有關(guān)要求,、意見和建議,。

  C.該項(xiàng)目建廠地區(qū)的氣象資料、水文地質(zhì)資料和周圍大氣污染的環(huán)境狀況,。

  D.潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝對(duì)凈化空調(diào)的要求和必須收集的生產(chǎn)工藝的技術(shù)條件和有關(guān)數(shù)據(jù),、資料:

  1、潔凈廠房內(nèi)的生產(chǎn)工藝設(shè)備平面布置圖和設(shè)備清單,,以及工藝對(duì)吊頂高度的要求。

  2,、工藝對(duì)潔凈室內(nèi)的潔凈度,、溫度及精度、相對(duì)濕度及精度,、正壓,、振動(dòng)、噪聲,、照度,、靜電、屏蔽等要求,,越具體越好,。

  3、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝設(shè)備的產(chǎn)熱量,、產(chǎn)濕量,、產(chǎn)塵量,。各設(shè)備的安裝功率、效率,、熱轉(zhuǎn)化系數(shù)和同時(shí)使用系數(shù)等,。

  4、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝設(shè)備的局部排風(fēng)量,、排放氣體的性質(zhì),、成份、濃度和廢氣排放量以及廢氣治理方法,。

  5,、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)運(yùn)行的班次、運(yùn)行規(guī)律,。

  E.潔凈廠房的建筑和結(jié)構(gòu)的情況和有關(guān)的數(shù)據(jù)

  1,、潔凈室建筑的平面布置圖、立面圖,、剖面圖,。各房間的分割、面積,、名稱,、層高。

  2,、潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)(墻,、地、頂,、門,、窗等)的建筑材料以及其熱工性能。

  3,、建筑結(jié)構(gòu)狀況,、結(jié)構(gòu)的承載能力,尤其是舊建筑的改造項(xiàng)目結(jié)構(gòu)的安全十分重要,。

  F.全廠冷源,、熱源、電源的情況及供應(yīng)

  1,、冷熱源的性質(zhì),、參數(shù)和供應(yīng)量。有無加濕用的蒸汽等,。

  2,、電源的性質(zhì)、參數(shù)和供應(yīng)量,。

  G.地方消防,、環(huán)保部門對(duì)該項(xiàng)目建設(shè)的要求和意見,。

  H.其他相關(guān)專業(yè)(給水排水、氣體動(dòng)力,、建筑結(jié)構(gòu),、強(qiáng)電弱電等)的要求和意見。

  I.設(shè)計(jì)時(shí)所用的設(shè)備,、材料,、配件的性能、參數(shù)和價(jià)格的資料,。

 ?。ǘ﹥艋照{(diào)系統(tǒng)的負(fù)荷計(jì)算

  (三)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分

  根據(jù)建筑專業(yè)提供的建筑平面圖,,工藝專業(yè)提供的工藝設(shè)備平面圖和工藝對(duì)各潔凈室的潔凈度,,溫、濕度等環(huán)境的要求,,即可進(jìn)行凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分工作,。

  A.凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分原則

  1、潔凈度,,溫,、濕度及其精度相同或相近的潔凈房間宜劃為一個(gè)凈化空調(diào)系統(tǒng)。便于潔凈度和溫,、濕度的控制,。

  2、距離較近的潔凈房間宜劃為一個(gè)系統(tǒng),,可減少系統(tǒng)管道的長度和管道交叉,。

  3、有條件時(shí)可將4級(jí),、5級(jí)單向流和6級(jí),、7級(jí)、8級(jí)非單向流組成混合流凈化空調(diào)系統(tǒng),。

  4、潔凈室不宜與一般空調(diào)房間合為一個(gè)系統(tǒng),。

  5,、使用規(guī)律和使用時(shí)間不相同的潔凈室不宜合為一個(gè)凈化空調(diào)系統(tǒng)。

  6,、產(chǎn)塵量大,、發(fā)熱量大、有害物多,、噪聲大的房間宜單獨(dú)設(shè)計(jì)為一個(gè)系統(tǒng),。

  7,、混合后會(huì)產(chǎn)生劇毒、引起火災(zāi)和爆炸的房間不應(yīng)合為一個(gè)凈化空調(diào)系統(tǒng),。

  8,、有劇毒和易燃易爆的甲、乙類房間應(yīng)單獨(dú)設(shè)系統(tǒng),,而且應(yīng)為不回風(fēng)的直流系統(tǒng),。

  9、一個(gè)凈化空調(diào)系統(tǒng)不易過大,。一般情況下,,凈化送風(fēng)量不宜超過100,000m3/h,否則空氣處理設(shè)備過大,、噪聲大,、送回風(fēng)管道大、占空間和面積大,,使用也不靈活,。

  10、凈化空調(diào)系統(tǒng)劃分時(shí)還應(yīng)考慮到送風(fēng)管,、回風(fēng)管,、排風(fēng)管以及水,電,氣等管線的布置,盡量作到合理,、短捷,、使用管理方便,盡量減少交叉和重疊,。

  11,、凈化空調(diào)系統(tǒng)新風(fēng)的熱濕和凈化處理可集中也可分散設(shè)置。

  B.工藝設(shè)備局部排風(fēng)系統(tǒng)的劃分原則

  1,、工藝設(shè)備的局部排風(fēng)系統(tǒng)不宜過大,,每個(gè)排風(fēng)系統(tǒng)的排風(fēng)點(diǎn)數(shù)不宜過多,這樣排風(fēng)管理調(diào)節(jié)方便,,排風(fēng)效果好,。

  2、一個(gè)排風(fēng)系統(tǒng)不宜跨在兩個(gè)或兩個(gè)以上的凈化空調(diào)系統(tǒng),。

  3,、混合后產(chǎn)生劇毒、爆炸,、火災(zāi),、凝水、結(jié)晶和有害物的排風(fēng)不應(yīng)合為一個(gè)排風(fēng)系統(tǒng)。

  4,、使用規(guī)律不同房間和設(shè)備的排風(fēng)不應(yīng)合為一個(gè)排風(fēng)系統(tǒng),。

  (四)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)送風(fēng)型式的比較選擇

 ?。ㄎ澹崈羰覂艋照{(diào)系統(tǒng)的冷,、熱源

  (六)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能

模塊三:潔凈室裝修,潔凈室工程裝修


  控管項(xiàng)目
  1,、能除去空氣中飄游之微塵粒子,。
  2、能防止微塵粒子之產(chǎn)生,。
  3,、溫度和濕度之控制。
  4,、壓力之調(diào)節(jié),。
  5、有害氣體之排除,。
  6,、結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。
  7,、靜電之防制,。
  8、電磁干擾預(yù)防,。
  9,、安全因素之考慮。
  10,、節(jié)能之考量,。

  潔凈實(shí)驗(yàn)室裝修設(shè)計(jì)的平面布局
 
潔凈實(shí)驗(yàn)室裝修設(shè)計(jì)的平面布局
  潔凈室一般包括潔凈區(qū)、準(zhǔn)潔凈區(qū)和輔助區(qū)三
  外廊環(huán)繞式:外廊可以有窗和無窗,,兼作參觀和放置一些設(shè)備用,,有的在外廊內(nèi)設(shè)值班采暖。外窗必須是雙層密封窗,。
  內(nèi)廊式:潔凈室設(shè)在外圍,,而走廊設(shè)在內(nèi)部,這種走廊的潔凈度級(jí)別一般都較高,,甚至和潔凈室同級(jí),。
  兩端式:潔凈區(qū)設(shè)在一邊,另一邊設(shè)準(zhǔn)潔凈和輔助用房,。
  核心式:為了節(jié)約用地、縮短管線,可以潔凈區(qū)為核心,,上下左右被各種輔助用房和隱蔽管道的空間包圍起來,,這種方式避開室外氣候?qū)崈魠^(qū)的影響,減少了冷熱能耗,,利于節(jié)能,。
 
  潔凈實(shí)驗(yàn)室裝修常用選材要求
  1、門窗:實(shí)驗(yàn)室統(tǒng)一采用潔凈密封彩鋼鋼板門,,門套為沙光鋁合金制作,,門板為鋼化玻璃窗,下部分為彩鋼板填充,。
  2,、實(shí)驗(yàn)室凈化區(qū)地面鋪貼專用PVC地板膠,防火等級(jí)為B1級(jí),,防酸,、防堿、防腐蝕耐磨達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室要求等級(jí),;
  3,、實(shí)驗(yàn)室墻體為采用防塵,光滑,,耐燃,,鋼板夾心的彩鋼板墻體固定采用50X30槽型鋁做地槽,地槽固定采用鋼釘加木塊固定,;
  4,、實(shí)驗(yàn)室天花采用防塵,光滑,,耐燃的彩鋼板,,兩邊用槽型鋁封邊,彩鋼板與彩鋼板之間用中性瓷白玻璃膠密封,,防止有縫滋生細(xì)菌,;
  5、地面與墻面,,墻面與墻面,,墻面與天花板交接均采用半徑50mm的鋁合金圓弧處理;
  6,、柱面,、陰陽角處理:鋼板夾芯彩鋼板隔斷之間陽角處裝鋁合金外圓弧,隔斷與隔斷之間,,隔斷與天花之間,,隔斷與地面之間的陰角封R50鋁合金內(nèi)圓弧。圓角線三維匯交處安裝鋁合金頂球片,門口斷開處應(yīng)收口,,陽角柱與天花之交角,。