模塊一: 潔凈室基礎(chǔ)知識
潔凈室的定義
潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子,、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,,并將室內(nèi)之溫度,、潔凈度、室內(nèi)壓力,、氣流速度與氣流分布,、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),,而所給予特別設(shè)計之房間,。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度,、溫濕度及壓力等性能之特性,。
潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn),、制造,,此空間我們稱之為潔凈室。按照慣例,,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定,。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當(dāng)然這個標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,,但是對于光學(xué)構(gòu)造而言,,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,,無塵是必然的要求,。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達(dá)到了無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級,。芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上,。0.5uM及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個以內(nèi),,這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
潔凈室的使用
空態(tài):已經(jīng)建造完成并可以投入使用的潔凈室(設(shè)施),。它具備所有有關(guān)的服務(wù)和功能,。但是,在設(shè)施內(nèi)沒有操作人員操作的設(shè)備,。
靜態(tài):各種功能完備,、設(shè)定安裝妥當(dāng),可以按照設(shè)定使用或正在使用的潔凈室(設(shè)施),,但是設(shè)施內(nèi)沒有操作人員,。
動態(tài):處于正常使用的潔凈室,服務(wù)功能完善,,有設(shè)備和人員,;如果需要,可從事正常的工作,。
模塊二:潔凈室設(shè)計
(一)潔凈室設(shè)計前的準(zhǔn)備工作及應(yīng)收集的有關(guān)數(shù)據(jù)和資料
A.收集有關(guān)潔凈室建設(shè)的政策,,標(biāo)準(zhǔn),規(guī)范
1,、潔凈度等級的國家標(biāo)準(zhǔn)和國際標(biāo)準(zhǔn)ISO14644
2,、“潔凈廠房設(shè)計規(guī)范”GB50073-2001
3、“電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范”(修訂中)
4,、“制藥工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范”(修訂中)
5,、“醫(yī)院潔凈手術(shù)部建筑技術(shù)規(guī)范”GB50333-2002
6、“實驗動物環(huán)境及設(shè)施”GB14925-2001
7,、“生物安全實驗室建筑技術(shù)規(guī)范”GB50346-2004
8,、“潔凈室施工驗收規(guī)范”JGJ71-90
9、“電子工業(yè)潔凈廠房施工及驗收規(guī)范”(制訂中)
10,、“采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計規(guī)范”GB50019-2003
11,、“通風(fēng)與空調(diào)工程施工質(zhì)量驗收規(guī)范”GB50243-2002
12、“建筑設(shè)計防火規(guī)范”(修訂中)
13、“高層民用建筑設(shè)計防火規(guī)范”GB50045-2001等,。
B.該項目的“可行性研究報告”以及上級主管部門對報告的批復(fù)意見,;該項目的“設(shè)計任務(wù)書”和建設(shè)方對該項目建造的有關(guān)要求、意見和建議,。
C.該項目建廠地區(qū)的氣象資料,、水文地質(zhì)資料和周圍大氣污染的環(huán)境狀況。
D.潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝對凈化空調(diào)的要求和必須收集的生產(chǎn)工藝的技術(shù)條件和有關(guān)數(shù)據(jù),、資料:
1,、潔凈廠房內(nèi)的生產(chǎn)工藝設(shè)備平面布置圖和設(shè)備清單,以及工藝對吊頂高度的要求,。
2,、工藝對潔凈室內(nèi)的潔凈度、溫度及精度,、相對濕度及精度,、正壓、振動,、噪聲,、照度、靜電,、屏蔽等要求,,越具體越好。
3,、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝設(shè)備的產(chǎn)熱量,、產(chǎn)濕量、產(chǎn)塵量,。各設(shè)備的安裝功率,、效率、熱轉(zhuǎn)化系數(shù)和同時使用系數(shù)等,。
4,、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝設(shè)備的局部排風(fēng)量、排放氣體的性質(zhì),、成份,、濃度和廢氣排放量以及廢氣治理方法。
5,、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)運行的班次,、運行規(guī)律。
E.潔凈廠房的建筑和結(jié)構(gòu)的情況和有關(guān)的數(shù)據(jù)
1,、潔凈室建筑的平面布置圖,、立面圖,、剖面圖。各房間的分割,、面積,、名稱、層高,。
2,、潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)(墻、地,、頂,、門、窗等)的建筑材料以及其熱工性能,。
3,、建筑結(jié)構(gòu)狀況、結(jié)構(gòu)的承載能力,,尤其是舊建筑的改造項目結(jié)構(gòu)的安全十分重要。
F.全廠冷源,、熱源,、電源的情況及供應(yīng)
1、冷熱源的性質(zhì),、參數(shù)和供應(yīng)量,。有無加濕用的蒸汽等。
2,、電源的性質(zhì),、參數(shù)和供應(yīng)量。
G.地方消防,、環(huán)保部門對該項目建設(shè)的要求和意見,。
H.其他相關(guān)專業(yè)(給水排水、氣體動力,、建筑結(jié)構(gòu),、強電弱電等)的要求和意見。
I.設(shè)計時所用的設(shè)備,、材料,、配件的性能、參數(shù)和價格的資料,。
?。ǘ﹥艋照{(diào)系統(tǒng)的負(fù)荷計算
(三)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分
根據(jù)建筑專業(yè)提供的建筑平面圖,,工藝專業(yè)提供的工藝設(shè)備平面圖和工藝對各潔凈室的潔凈度,,溫,、濕度等環(huán)境的要求,即可進(jìn)行凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分工作,。
A.凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分原則
1,、潔凈度,溫,、濕度及其精度相同或相近的潔凈房間宜劃為一個凈化空調(diào)系統(tǒng),。便于潔凈度和溫、濕度的控制,。
2,、距離較近的潔凈房間宜劃為一個系統(tǒng),可減少系統(tǒng)管道的長度和管道交叉,。
3,、有條件時可將4級、5級單向流和6級,、7級,、8級非單向流組成混合流凈化空調(diào)系統(tǒng)。
4,、潔凈室不宜與一般空調(diào)房間合為一個系統(tǒng),。
5、使用規(guī)律和使用時間不相同的潔凈室不宜合為一個凈化空調(diào)系統(tǒng),。
6,、產(chǎn)塵量大、發(fā)熱量大,、有害物多,、噪聲大的房間宜單獨設(shè)計為一個系統(tǒng)。
7,、混合后會產(chǎn)生劇毒,、引起火災(zāi)和爆炸的房間不應(yīng)合為一個凈化空調(diào)系統(tǒng)。
8,、有劇毒和易燃易爆的甲,、乙類房間應(yīng)單獨設(shè)系統(tǒng),而且應(yīng)為不回風(fēng)的直流系統(tǒng),。
9,、一個凈化空調(diào)系統(tǒng)不易過大。一般情況下,,凈化送風(fēng)量不宜超過100,000m3/h,,否則空氣處理設(shè)備過大、噪聲大,、送回風(fēng)管道大,、占空間和面積大,,使用也不靈活。
10,、凈化空調(diào)系統(tǒng)劃分時還應(yīng)考慮到送風(fēng)管,、回風(fēng)管、排風(fēng)管以及水,電,氣等管線的布置,,盡量作到合理,、短捷、使用管理方便,,盡量減少交叉和重疊,。
11、凈化空調(diào)系統(tǒng)新風(fēng)的熱濕和凈化處理可集中也可分散設(shè)置,。
B.工藝設(shè)備局部排風(fēng)系統(tǒng)的劃分原則
1,、工藝設(shè)備的局部排風(fēng)系統(tǒng)不宜過大,每個排風(fēng)系統(tǒng)的排風(fēng)點數(shù)不宜過多,,這樣排風(fēng)管理調(diào)節(jié)方便,,排風(fēng)效果好。
2,、一個排風(fēng)系統(tǒng)不宜跨在兩個或兩個以上的凈化空調(diào)系統(tǒng),。
3、混合后產(chǎn)生劇毒,、爆炸、火災(zāi),、凝水,、結(jié)晶和有害物的排風(fēng)不應(yīng)合為一個排風(fēng)系統(tǒng)。
4,、使用規(guī)律不同房間和設(shè)備的排風(fēng)不應(yīng)合為一個排風(fēng)系統(tǒng),。
(四)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)送風(fēng)型式的比較選擇
?。ㄎ澹崈羰覂艋照{(diào)系統(tǒng)的冷,、熱源
(六)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能
模塊三:潔凈室裝修,潔凈室工程裝修